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薄膜沉積系統
薄膜沉積是目前最流行的表面處理法之一,廣泛應用于光學材料、半導體組件、裝飾品、餐具、刀具、工具、模具等的表面處理,泛指在各種金屬材料、超硬合金、陶瓷材料及晶圓基板的表面上,成長一層同質或異質材料薄膜的工藝,以期獲得美觀耐磨、耐熱、耐蝕等特性。
薄膜沉積工藝及設備主要在以下領域有廣泛運用:
• 表面裝飾 (汽車、水龍頭、吊燈、珠寶等)
• 顯示科技(LED 器件、半導體激光器等)
• 能源儲存(太陽能、燃料電池及能量濾波器)
• 醫學及生物醫學(移植、儀器)
• 光學材料
• 物理材料研究
• 半導體(硅晶片)
• 傳感器科技(汽車、航空業、生物科技)
• 超導體(電力傳輸、磁力飄浮)
• 耐磨涂層(引擎、渦輪機、工具等)

 

 
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