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產品展示 > 美國MKS產品 > 等離子體電源及反應氣體發生器
 
直流/脈沖功率電源
ENI® 直流/脈沖電源
主要應用于半導體,光電器件,磁盤,平板顯示器等工業中的鍍膜工藝。
• Optima® 系列直流電源:功率從 5千瓦至 60 千瓦。
• RPG 系列脈沖電源:功率從 5 千瓦至 10 千瓦,頻率從 50 至 250KHz , 占空比從 0 至 40% 。
 

 
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