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產品展示 > 美國MKS產品 > 等離子體電源及反應氣體發生器
 
射頻功率電源

ENI® 提供高可靠的固態電源
頻率從 1MHz60MHz,功率從 3 百瓦至 13千瓦,還可選自動頻率調諧,廣泛地應用于 EtchCVDPVD等工藝。
• 中頻射頻功率電源 (1-4MHz)
NOVA® 系列:功率為 2.5 千瓦和 5千瓦,自動頻率調諧可選。
Spectrum® 系列:功率從 5千瓦至 11千瓦,自動頻率調諧可選。
• 高頻射頻功率電源 (13.56MHz)
ACG 系列風冷電源:功率從 3百瓦至 1 千瓦。
GHW 系列電源:功率從 1.5 千瓦至 5 千瓦,自動頻率調諧可選。
Spectrum® 系列電源:功率從 1.5 千瓦至 10.5 千瓦,自動頻率調諧可選。
SurePower® 系列電源:功率從 1.5 千瓦至 13 千瓦,自動頻率調諧可選。
• 超高頻射頻功率電源 (27.12-60MHz)
GEW 系列電源:功率從 1.5 千瓦至 3千瓦,自動頻率調諧可選。

 

 
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