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產品展示 > 美國MKS產品 > 氣體流量\壓力測量和控制器(儀)
 
π系列金屬密封壓力不敏感數字質量流量控制器

πMFC 是新一代壓力不敏感數字質量流量控制器。實時高精度流量控制是基于先進的數字算法技術, 能有效地避免因壓力波動而造成的流量不穩。 πMFC 廣泛地應用于諸如半導體和薄膜生產工藝等高精度、高純度氣體系統。 πMFC 集成壓力傳感器并顯示壓力等讀數, 各種模擬和數字通訊口可選。
• πMFC 壓力不敏感質量流量控制器
滿量程范圍從10 sccm – 50 slm
• πMFC 低壓質量流量控制器
滿量程范圍從2 – 50 sccm

 

 
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