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產品展示 > 美國MKS產品 > 氣體流量\壓力測量和控制器(儀)
 
下游壓力控制閥和壓力控制器

T3PIA 集成了控制和驅動器的擺式壓力控制閥
      其特點是壓力控制范圍寬、速度快、能精確可靠地控制壓力。該閥具有良好的低流導,閥接近關閉位置也具有良好的控制能力。自調諧功能使得閥能最快的響應和最小的過沖。模擬和數字通訊口可選。其還具有隔離閥的功能。
•  T3BIA 集成了控制和驅動器的蝶式節流閥
      其特點是能快速、精確、可靠地控制壓力,該閥具有良好的低流導,閥接近關閉位置也具有良好的控制能力。自調諧功能使得閥能最快的響應和最小的過沖。模擬和數字通訊口可選。
•  253B/653B 蝶式節流閥 /高速蝶式節流閥
     其特點是能快速、精確、可靠地控制壓力。各種尺寸接口可選,可與 651 控制器配套使用。
•  651C 自調諧 /數字PID控制器
    其能控制和驅動253/653節流閥,自調諧功能優化壓力控制參數。

 

 


 

 

 
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