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產品展示 > 美國MKS產品 > 氣體流量\壓力測量和控制器(儀)
 
上游壓力控制閥和壓力控制器
• 148J 金屬密封壓力控制閥, 滿量程范圍10 – 3000 SCCM
• 248A 橡膠密封壓力控制閥, 滿量程范圍10 – 5000 SCCM
• 154A 大流量壓力控制閥, 滿量程范圍20 – 200SLM
250E 氣體壓力/流量控制器。 其輸入壓力或流量信號, 通過 PID 閉環控制模塊, 控制壓力閥和 (或) 質量流量控制器.
 

 
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